广州PA6008-PCC10A加热板

时间:2022年11月25日 来源:

    电热恒温加热板由箱壳、微晶玻璃加热面、陶瓷纤维加热盘及高温镍镉炉丝,控制盒构成。箱壳分两种:一种为全不锈钢,另一种为较好的碳钢冲压而成。表面静电喷塑。温控采用智能型数码显示温控器,控温准确可靠。电热恒温加热板使用方便,散热均匀,坚固耐用。因其电热丝暗藏于壳体内部,不裸露外表,适用于不能直接接触明火的物品加热,保温作用。该产品用于大专院校、石油化工、医药、环保等实验室液体加热用。电热恒温加热板维护保养及注意事项:1.每次使用结束后,关掉电源开关。2.长时间不用需拔掉电源插头,并将加热板放在干燥处并套好塑料防尘罩。3.仪器在维修前必须先清理干净。4.使用说明书在使用过程中要保存好。5.加热板将不对纂改保护装置而造成的财产、人和物产生的损失负责。6.将对不遵守规定和预防措施而造成的财产,人和物造成的损失概不负责。7.将对使用不负责任,以及不按使用说明书说明操作造成的缺陷和功能障碍不负责。8.确保定期的检查维护所有的操作是否正常,包括清洁,定期检查和保证仪器使用时的安全性。 在高温下加热器周围形成油脂或石灰石,从而降低热导率、缩短加热器的寿命、增大耗电率。广州PA6008-PCC10A加热板

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    推荐的:所述的调节支撑圆柱与研磨盘主体之间、调节支撑圆柱与圆环之间均设置为螺纹连接。推荐的:所述的支撑圆盘本体的材质采用铝合金。推荐的:所述的圆环的材质采用ptfe。推荐的:所述的研磨块的长度与晶圆加热器的修磨面半径相等。本实用新型的有益效果;一种等离子体cvd晶圆加热器用表面修磨装置,与传统结构相比:设置有带锁紧及定位功能的晶圆加热器支撑圆盘、连接晶圆加热器支撑圆盘的旋转装置、带水平调整及测量功能的研磨盘、带水平调节功能的安装支架;研磨块的长度与晶圆加热器的半径相等,研磨均匀;本实用新型结构简单,稳定性好,操作方便,研磨快速高效;**降低了工人的劳动强度,大大减小了一次修磨量,增加了晶圆加热器的可修磨次数,延长了晶圆加热器的工作寿命,节约了成本。附图说明图1为本实用新型结构示意图;图2为本实用新型中加热器支撑圆盘结构示意图;图3为本实用新型中旋转装置结构示意图;图4为本实用新型研磨盘结构示意图;图5为本实用新型安装支架结构示意图;图6为本实用新型晶圆加热器结构示意图;在图中:1.加热器支撑圆盘;1-1.支撑圆盘本体;1-2.圆环;1-3.螺丝;2.旋转装置;2-1.固定座;2-2.旋转电机;2-3.连接圆盘;3.研磨盘。PA3015-PCC20A加热板代理在半圆形热片2的自由端是分别接着电源的左电极和右电极。

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    晶圆加热装置的制作方法文档序号:30596935发布日期:2022-07-0120:52阅读:35来源:国知局导航:X技术>*****>电气元件制品的制造及其应用技术1.本技术属于晶圆加工技术领域,尤其涉及一种晶圆加热装置。背景技术:2.目前,常用的晶圆加热设备的加热丝呈螺旋状从中心向**旋转,加热丝在热盘中的分布不够均匀,无法达到均匀加热的目的,无法满足晶圆的高精度加热要求,而高精度加热对半导体工艺至关重要。3.另外,在晶圆加热前需要先行对晶圆进行定位,在先技术中通常通过真空吸盘定位,但现有的真空吸盘对晶圆的吸附力通常不够均匀,晶圆和真空吸盘间的间隙存在差异,这也会导致晶圆加热不均匀,导致无法满足晶圆加热的精度要求。技术实现要素:4.针对上述问题,本技术提供了一种晶圆加热装置,至少解决了在先技术中真空吸盘吸附力不均匀、晶圆加热不均匀的问题。5.本技术实施例提供一种晶圆加热装置,包括:6.基座;7.真空吸盘,设于所述基座上且用于吸附工件,所述真空吸盘上设有进气孔与气路,所述气路包括若干同心设置的环形气路以及沿若干沿所述真空吸盘的径向延伸的径向气路,每个所述径向气路与各所述环形气路均连通。


    加热板搅拌器加热搅拌器加热板&搅拌器附件优异的性能与智能技术令人印象深深的高性能、高安全性和操作简便性,使您能够轻松找到**合乎您实验室要求的加热装置。我们普遍的加热板、搅拌器、加热搅拌器以及相关附件可以全然满足任何实验室需要。广受欢迎的加热板和搅拌器RT2高级加热搅拌器实验室加热板和搅拌器专题目录实验室加热板我们均匀加热的加热板能够提供多种赢得可再现结果的能力,包括温度稳定性、耐用性以及远程支配访问的能力,以实现安全性和便捷性。搅拌器我们的搅拌器产品组合在大多数应用中可达到2400rpm的转速,且在严格的细胞培养应用中保证可靠性、安全性和运行性能,将根据您的全部实验室需要为您提供解决方案。加热搅拌器从**基本的搅拌设计到合适凶险运用的防爆型加热搅拌器,我们的加热搅拌器可以提供精细的控制和可重复性,满足您的各种应用需要。加热板与搅拌器附件我们普遍的搅拌器控制装置和附件能够补充您的加热板和搅拌器,协助保证您得到正确配备以迅速设立好您的搅拌器。可靠的精度和控制***系列加热板、搅拌器以及加热搅拌器可实现优异的结果准确性和重现性,而且可通过智能StirTrac技术和HOTTOP警报系统实现安全性。本发明关乎mocvd装置。本实用新型涉及等离子体cvd晶圆加热器的领域。

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    本发明半导体加工领域,尤其涉及一种晶圆加热器。背景技术:现有的晶圆加热设备,加热丝呈螺旋状从中心向**旋转,加热丝在热盘中的分布不够均匀,无法达到均匀加热的目的,无法满足晶圆的高精度加热,而高精度加热对半导体的工艺至关重要。如中国发明专利cna所公开的一种能够提高照射效率的加热器。实施方式所涉及的加热器具备发光管、发热体及反射膜。发光管呈筒状,且所述发光管透光。发热体设置在发光管的内部,且发热体以碳作为主要成分。反射膜设置在发光管的外周面,并对光进行反射。上述现有技术的晶圆加热器无法恒温的均匀加热。技术实现要素:一、要解决的技术问题本发明的目的是针对现有技术所存在的上述问题,特提供一种晶圆加热器,解决现有加热器无法恒温的均匀加热的问题。二、技术方案为解决上述技术问题,本发明提供一种晶圆加热器,包括:加热盘、底板和若干垫柱;加热盘上设有七个加热区域,分别为***加热区域、第二加热区域、第三加热区域、第四加热区域、第五加热区域、第六加热区域和第七加热区域;***加热区域设置于中心区域,第二加热区域和第三加热区域设置于***加热区域外圆周。在测试过程中,每一个芯片的电性能力和电路机能都被检测到。北京PA10005-CC-PCC10A加热板

物件温度保持在目标温度值的士5°C的范围内。广州PA6008-PCC10A加热板

我国温控器,冷水机,仪器,无尘室用品业受到经济形势发展的影响而呈现出的市场疲软现象,对我国机械制造业提出了新的课题:调整发展思路,调整产业结构,提高产品技术含量、提高产品附加值,走转型升级的可持续发展之路。目前中国制造的立式包装机、二次包装机、给袋包装机、重袋包装机、真空包装机、包装生产线、自动称量机等包装技术水平处于国际前列,当然要实现世界包装技术,还是需要不断提高研发水平以及优化贸易型。绿色低碳是未来温控器,冷水机,仪器,无尘室用品的基本要求。因此,推动机械工业行业由环境污染型向绿色低碳型转变是我国机械工业高质量发展的必然要求。中国温控器,冷水机,仪器,无尘室用品产业虽然遭遇了持续性的低迷,但是从总的发展趋势来看,伴随我国各种利好政策的出台及各地基础设施建设项目的不断上马推进,我国的温控器,冷水机,仪器,无尘室用品发展前景是良好的、有保证的。广州PA6008-PCC10A加热板

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