湖南半导体纳米力学测试服务

经过三十年的发展，目前科学家在AFM 基础上实现了多种测量和表征材料不同性能的应用模式。利用原子力显微镜，人们实现了对化学反应前后化学键变化的成像，研究了化学键的角对称性质以及分子的侧向刚度。Ternes 等测量了在材料表面移动单个原子所需要施加的作用力。各种不同的应用模式可以获得被测样品表面纳米尺度力、热、声、电、磁等各个方面的性能。基于AFM 的定量化纳米力学测试方法主要有力—距离曲线测试、扫描探针声学显微术和基于轻敲模式的动态多频技术。发展高精度、高稳定性纳米力学测试设备，是当前科研工作的重要任务。湖南半导体纳米力学测试服务

FT-NMT03纳米力学测试系统可以配合SEM/FIB原位精确直接地测量纳米纤维的力学特性。微力传感器加载微力，纳米力学测试结合高分辨位置编码器可以对纳米纤维进行拉伸、循环、蠕变、断裂等形变测试。力-形变（应力-应变）曲线可以定量的表征纳米纤维的材料特性。此外，纳米力学测试结合样品架电连接，可以定量表征电-机械性质。位置稳定性，纳米力学测试对于纳米纤维的精确拉伸测试，纳米力学测试系统的位移是测试不稳定性的主要来源。图2展示了FT-NMT03纳米力学测试系统位移的统计学评价，从中可以找到每一个测试间隔内位移导致的不确定性，例如100s内为450pm，意思是65%（或95%）的概率，纳米力学测试系统在100s的时间间隔内的位移稳定性小于±450pm（或±900pm）。广东纺织纳米力学测试通过纳米力学测试，我们可以深入了解纳米材料在受到外力作用时的变形和破坏机制。

纵观纳米测量技术发展的历程，它的研究主要向两个方向发展：一是在传统的测量方法基础上，应用先进的测试仪器解决应用物理和微细加工中的纳米测量问题,分析各种测试技术,提出改进的措施或新的测试方法；二是发展建立在新概念基础上的测量技术，利用微观物理、量子物理中较新的研究成果,将其应用于测量系统中,它将成为未来纳米测量的发展趋向。但纳米测量中也存在一些问题限制了它的发展。建立相应的纳米测量环境一直是实现纳米测量亟待解决的问题之一，而且在不同的测量方法中需要的纳米测量环境也是不同的。对纳米材料和纳米器件的研究和发展来说，表征和检测起着至关重要的作用。由于人们对纳米材料和器件的许多基本特征、结构和相互作用了解得还不很充分，使其在设计和制造中存在许多的盲目性，现有的测量表征技术就存在着许多问题。此外，由于纳米材料和器件的特征长度很小，测量时产生很大扰动，以至产生的信息并不能完全表示其本身特性。这些都是限制纳米测量技术通用化和应用化的瓶颈，因此，纳米尺度下的测量无论是在理论上，还是在技术和设备上都需要深入研究和发展。

日本：S．Yoshida主持的Yoshida纳米机械项目主要进行以下二个方面的研究：⑴．利用改制的扫描隧道显微镜进行微形貌测量，已成功的应用于石墨表面和生物样本的纳米级测量；⑵．利用激光干涉仪测距，在激光干涉仪中其开发的双波长法限制了空气湍流造成的误差影响；其实验装置具有1n m的测量控制精度。日本国家计量研究所（NRLM）研制了一套由稳频塞曼激光光源、四光束偏振迈克尔干涉仪和数据分析电子系统组成的新型干涉仪，该所精密测量已涉及一些基本常数的决定这一类的研究，如硅晶格间距、磁通量等，其扫描微动系统主要采用基于柔性铰链机构的微动工作台。纳米力学测试助力新能源材料研发，提高能量转换效率。

原位纳米片取样和力学测试技术，原位纳米片取样和力学测试技术是一种新兴的纳米尺度力学测试方法，其基本原理是利用优化的离子束打造方法，在含有待测塑料表面的纳米区域内制备出超薄的平面固体材料，再对其进行拉伸、扭曲等力学测试。相比于传统的拉伸试验等方法，原位纳米片取样技术具有更优的尺寸控制和纳米量级精度，可以为纳米尺度力学测试提供更加准确的数据。总之，原位纳米力学测量技术的研究及应用是未来纳米材料科学发展的重要方向之一，将为纳米材料的设计、开发以及工业应用等领域的发展做出积极贡献。纳米力学测试可以帮助研究人员了解纳米材料的力学响应机制，从而推动纳米科学的发展。湖南半导体纳米力学测试服务

纳米力学测试可以用于评估纳米材料的耐久性和寿命，为产品的设计和使用提供参考依据。湖南半导体纳米力学测试服务

AFAM 方法提出之后，不少研究者对方法的准确度和灵敏度方面进行了研究。Hurley 等分析了空气湿度对AFAM 定量化测量结果的影响。Rabe 等分析了探针基片对AFAM 定量化测量的影响。Hurley 等详细对比了AFAM 单点测试与纳米压痕以及声表面波谱方法的测试原理、空间分辨率、适用性及测试优缺点等。Stan 等提出一种双参考材料的方法，此方法不需要了解针尖的力学性能，可以在一定程度上提高测试的准确度。他们还提出了一种基于多峰接触的接触力学模型，在一定程度上可以提高测试的准确度。Turner 等通过严格的理论推导研究了探针不同阶弯曲振动和扭转振动模态的灵敏度问题。Muraoka提出一种在探针微悬臂末端附加集中质量的方法，以提高测试灵敏度。Rupp 等对AFAM测试过程中针尖样品之间的非线性相互作用进行了研究。湖南半导体纳米力学测试服务